二手 PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10R #9259208 待售

PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10R是一种先进的蚀刻器/asher,设计用于大型工业应用中的最佳性能。它具有一个10英寸的歧管托盘和一个7个工作室设备，可以完全控制蚀刻和灰化过程。该VLR 702-PM拥有令人印象深刻的± 0.5 µm的精度，允许极其精确的蚀刻结果。此外,± 1.0 µm的精度可确保整个工作盘的均匀性。VLR 702-PM配备了一个先进的可编程控制器，提供多达16个内存存储，并提供各种作业的9种配方。此外,此控制器还可以轻松设置和调整蚀刻/灰化参数,包括电源、气流、偏置和其他特定于作业的设置。所有设置和结果都可以通过VLR 702-PM的图形用户界面实时监控。除了这些功能外,VLR 702-PM还配备了一个精密的安全系统,旨在保护用户和机器免受伤害。这包括盖子锁定机制、无钥匙扳机锁定和紧急停止按钮，允许在所有蚀刻/ashing作业中获得最大的安全性。软件和硬件经过优化,可提供最大程度的蚀刻和灰化质量和性能。VLR 702-PM配备了高性能电机和一套精密锻造的不锈钢喷嘴，确保等离子体分布在整个小间隙区域。计算机控制的高精度压电调制器和可调气体滤波器都确保不会将任何污染物引入灰化过程。为了最大程度地方便，VLR 702-PM有一个内置排气装置，在整个过程中收集和提取释放的蚀刻/灰化气体。这样可以防止有害物质堆积,促进用户安全和整体设备性能。总体而言,VLR 702-PM 770I-10R是一款先进的蚀刻器/asher,为工业蚀刻和灰化应用提供卓越的质量和性能。此机器提供卓越的精度、卓越的安全性和卓越的用户便利性,确保快速、精确地完成蚀刻/灰化作业。