二手 TEGAL 903E #9374755 待售

TEGAL 903E是一种专门设计用于半导体加工的蚀刻器/asher。它是一种热蒸发器（或蒸发设备），使用电子束枪将抗蚀剂和金属化层蒸发到半导体晶圆表面。TEGAL 903 E能够处理直径达8英寸的晶片，最大吞吐量高达每小时60片。它具有自动聚焦能力、过流保护和可调节的熔炉温度，以确保最佳和一致的结果。903E被定位为一个成本效益高、可靠的解决方桉，以满足日益增长的对复杂半导体器件进行更加集成和高效处理的需求。它具有多种特点，使其对半导体工业具有吸引力，包括高精度运动系统、紧密耦合控制单元和严密过程控制的卓越能力。通过直接控制其它重要的工艺参数和组件（如温度和压力），该机器还设计为便于与现有晶圆处理系统集成。该工具设计为能够快速准确地蒸发铝和钛以及其他厚度在1到1000纳米之间的合金和金属。903 E中使用的毫焦耳电子束枪可实现精确高效的沉积。此外，该资产有两个专用的基板操纵器，用于基板的转移和对基板位置的优越控制。TEGAL 903E还具有一系列用户友好的功能,例如图形用户界面、强大的软件包、自动校准和自我诊断模型。用户友好的界面允许操作员轻松设置和监控蚀刻过程。此外，该设备还具有远程监控能力，能够实现快速和优化的操作。TEGAL 903 E非常适合需要对过程控制严密的半导体基板进行高性能处理的客户。适用于批量生产和连续生产过程，能够加工各种尺寸和厚度的基材。该系统的高精度运动单元和紧密耦合的控制机器保证了极高的精度和过程控制水平，且污染最小。903E是半导体行业先进工艺的可靠且成本效益高的蚀刻器/蚀刻器。