二手 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-HV #9190560 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV是一款高性能、高生产率的蚀刻设备，设计用于半各向同性蚀刻、各向异性蚀刻、超高纵横比泪珠蚀刻、铜（Cu）柱蚀刻等工艺中最严格的要求。它是一种单晶片并行等离子体蚀刻器（或"asher"），具有一系列的功能，可以提高吞吐量和扩展过程模块-从标准蚀刻作业到更高级的过程。TEL Formula-HV利用创新和高效的工艺技术来实现高质量、稳定和可重复的蚀刻配置文件。该系统的高级控制功能提供了复杂、高精度的蚀刻,以满足非常大且极深的蚀刻工艺的要求。用TOKYO ELECTRON Formula-HV实现的蚀刻均匀性在业内名列前茅。Formula-HV配备了多个射频源，使得蚀刻过程可以针对特定的应用量身定制。这提供了一定程度的灵活性，提供了比传统蚀刻系统更广泛的蚀刻可能性。该单元还提供了广泛的调节参数，使用户能够调整等离子体、离子和电极电源，以获得最佳效果。TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV的精密自动化消除了关键应用的人工操作员干预。它允许对蚀刻深度和特征轮廓进行非接触、可重复和准确的过程控制。该机器还具有增强的诊断和维护工具,使用户能够快速轻松地诊断和维护资产。TEL Formula-HV还附带了一整套用于数据采集和分析以及配方开发和流程优化的软件工具。它与多个蚀刻掩码兼容，包括亮场掩码（用于浅蚀刻）和暗场掩码（用于深蚀刻）。Asher还提供了多个屏蔽offert,允许用户为其特定应用程序自定义模型。TOKYO ELECTRON Formula-HV是一款先进、高性能、可靠的蚀刻器，为要求最苛刻的应用提供精确稳定的蚀刻。其先进的控件、广泛的调整参数和灵活性为用户提供了各种各样的蚀刻可能性。其先进的自动化和全面的软件套件使用户能够快速轻松地开发和优化其流程。