二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293622284 待售
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ID: 293622284
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Vertical furnace, 12"
Process:
NH3
DCS
SiGe
C2H4
HF
20% F2 with N2
TiCl3 liquid
Operation panel
IO Unit
Exhaust box
Power box
Heater
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一种通用的蚀刻器/asher，用于半导体制造。它是一种感应耦合等离子体基（ICP）蚀刻器/asher，使用先进的技术穿孔无窗蚀刻设备，达到高精度、高品质的蚀刻和灰化效果。TEL Indy-I-L具有强大而稳定的高频电源,可为蚀刻表面提供精确的功率,并具有卓越的重复性。这种精密的功率控制允许对低温多晶硅、钴等难以加工的材料进行蚀刻。该装置还具有先进的大气控制系统，能够在反应室中保持正常和稳定的压力。腔室同时配有压力传感器和压力调节器，允许精确的压力控制。TOKYO ELECTRON Indy-I-L还配备了TEL专有的RIE SPRON-H技术，其开发目的是提供尽可能高的蚀刻速率和工艺均匀性。这项专有技术将蚀刻率提高了高达40%，允许更短的周期时间和更高水平的可重复性。Indy-I-L上的蚀刻工艺由该单元先进的自动化配方管理单元进一步优化。通过提供每个蚀刻周期阶段的精确工艺时间和能量，机器确保所产生的产品符合所有制造商的规格。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L的设计具有最大的灵活性和适应不断变化的生产要求的能力。该单元可以针对单个和多个晶片负载进行设置，专用硬件可以快速轻松地进行更改，以适应不同尺寸的基板。TEL Indy-I-L旨在为芯片制造商提供可靠性和成本效益，使其成为半导体制造的宝贵工具。凭借其先进的设计和精密的控制工具，该装置非常可靠，能够提供一致、高精度的蚀刻和灰化效果。
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