二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293643279 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是由日本半导体生产设备制造商TEL开发的蚀刻器/asher。广泛用于磁性和复合半导体材料的蚀刻和沉积，有多种应用。TEL Indy-I-L配备了广泛的功能，用于最大300 mm的大型晶片的均匀蚀刻和沉积。TOKYO ELECTRON Indy-I-L利用创新技术促进高效、稳定、均匀的加工。它配备了先进的技术，包括变温射频（RF）电源和激光干涉控制，以确保均匀的蚀刻和沉积，以及光学和地形反馈控制，以确保可重复和稳定的结果。此外，它的智能控制器功能允许定制和自动控制蚀刻和沉积过程。Indy-I-L具有较大的1,200L腔室容量，设计用于提供广泛的蚀刻/沉积范围。它能够使用50mA/m 2 RF电源处理高达900 °C的温度,以及高达2.5kV直流（直流电流）偏置电压。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L可以蚀刻和沉积多种广泛的材料，包括稀土和重离子肠硅酸盐、硅、钛、铝等金属，以及化合物半导体如砷、磷化铵和氮化铝。TEL Indy-I-L也有业界领先的45​​的了/min蚀刻速率，以及高达20 nm/min的易于调节的沉积速率。此外,它还具有高达40个晶片的多个晶片群集处理能力,具有很高的生产率。TOKYO ELECTRON Indy-I-L可以用于各种不同的蚀刻和沉积应用，从专门的半导体应用到日常消费电子的生产。Indy-I-L用户友好，设计高效操作。其直观的用户界面和简单的蚀刻/沉积控制功能为过程提供了简单的设置和准确的控制，而其自动停止功能则有助于降低成本和提高蚀刻/沉积过程的可靠性。总体而言，TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L是一种功能强大、用途广泛的蚀刻器/灰化器，旨在为各种应用提供高效、稳定、均匀的各种材料蚀刻/沉积。它是任何半导体制造设施的完美补充。