二手 TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #293585847 待售

ID: 293585847
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Vertical LPCVD Furnace, 12" Wafer production equipment Process: MLD Nitride CIM: SECS-GEM KHI Handler system (2) FOUP Factory interfaces Operation system: Gas detector box Rapid Colling System (RCS) Power box 208 VAC UPS 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY IRAD是一款精密的蚀刻器/asher,专为高容量的一代高级光刻图桉而设计。其精密的图样设计和优异的蚀刻性能为当今半导体制造工艺中的各种电路提供了可靠和可重复的结果。TEL Indy IRAD配备了坚固的气体输送设备,提供高效准确的蚀刻剂输送,实现高效使用。这确保了可靠和可重复的平版印刷模式,并增加了工艺的均匀性.该系统可以配置为容纳广泛的基材,为用户提供了一次蚀刻各种材料的灵活性。这种全面的蚀刻溶液能够处理材料,包括硅和,以及许多介电和金属层。TOKYO ELECTRON INDY IRAD还有一个优越的离子蚀刻单元,基于一个具有定向匹配网络的RF驱动场。该网络能够改进对蚀刻物种均匀性和钝化控制的控制,同时降低材料在错误位置蚀刻的风险。为确保最佳性能和可靠性,Indy IRAD还配备了高级诊断和监控功能。这些工具使用户能够不断地监控工艺条件,并准确地调整参数以优化蚀刻结果。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD的自动化操作使机器更易于操作和维护,为用户降低了维护成本。这样可以节省清洁和预防性维护等任务的时间,并允许完全自动化的批量生产过程。因此,TEL Indy IRAD是寻求高精度蚀刻解决方桉的公司的理想选择。
还没有评论