二手 TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9267385 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II是一种蚀刻/asher机器，设计用于在半导体器件中提供可靠的蚀刻/灰分工艺。它是一台最先进的机器，配备了最新的技术。它能够在低温、高精度和高吞吐量下执行过程。该机配备了高分辨率成像设备，可实现高精度成像。它提供实时反馈，可以快速调整参数。它能够在各种材料上进行蚀刻/灰分处理，如薄电介质、聚酰亚胺、二氧化硅和其他各种基材。此外，它还支持各种蚀刻/灰分工艺化学方法。TEL ME-450II具有用户友好的界面,需要最少的设置和维护。由于具有自动平衡功能,即使高度和表面地形不断变化,它也能够准确一致地工作。自动平衡功能允许用户根据基板、表面纹理、材料类型和高度为每个作业设置蚀刻参数。该机器有一个集成的、经过良好验证的过程控制系统（PCS）,可确保蚀刻/灰分过程的准确性。该单元包括蚀刻均匀控制机、温控工具和压力控制资产。PCS允许用户实时监视和控制每个蚀刻/灰分过程的参数。这使用户能够实现每一次的最佳结果。此外，TOKYO ELECTRON ME-450II拥有先进的等离子体过程控制技术，简称TEL-MPT（多路径调谐）技术。这项技术结合使用两条独立的蚀刻路径，对每条路径使用不同的压力、温度和射频功率水平。多路径调谐技术使用户能够获得精确的蚀刻/灰分结果。ME-450II是一台先进的蚀刻器/asher机器,它结合了最新的技术,在执行蚀刻/灰分过程时可实现最高的精度和准确性。它是用于半导体器件制造的可靠工具,即使高度和表面地形不断变化,也能够执行各种蚀刻/灰分工艺。