二手 AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9268836 待售

看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。

ID: 9268836
Photo stabilizers.
AXCELIS/FUSION M 200 PCU是一款先进的曝光设备,设计用于半导体行业的掩模图像写入。该系统提供快速可靠的图像写入能力、出色的边缘放置控制和卓越的吞吐量。FUSION M200PCU具有精确的激光控制和优异的线宽精度,使半导体芯片制造商能够满足其生产需求。该装置设计紧凑,安装方便。光学配置由大功率、高速UV激光源、扫描头、成像光机和高分辨率电子束(EB)束偏转工具组成。扫描头利用双轴偏转资产,允许对光束传递进行非常严格的控制,从而产生可靠、精确和可重复的成像特性。AXCELIS M200 PCU提供多变的磁场尺寸板,以允许不同的磁场时间和不同的基板尺寸。它还允许整合变速、均匀和非均匀成像场、灵活成像场大小等特殊特征。该激光源可提供低污染、低功耗的高性能。激光源采用先进的脉冲波调制模型,保证了长期的可靠性和稳定性。激光源还结合了一个内置冷却单元,以尽量减少热降解。EB设备的设计可在较长时间内提供出色的图像重复性和均匀性。它具有改进的电子源和高分辨率、高精度的偏转器,能够精确控制图像的放置,非常适合晶圆图样的应用。AXCELIS/FUSION M200 PCU旨在为半导体工业中的掩模成像和晶片阵列应用提供灵活性和卓越性能。其精密的激光控制、高精度的EB系统以及先进的设计特点,使其成为满足制图和光刻工艺开发需求的绝佳选择。
还没有评论