二手 AXCELIS / FUSION Rapid 320 FC #9202024 待售

AXCELIS/FUSION Rapid 320 FC是一款高性能的紧凑曝光设备,旨在提供光刻工艺方面的卓越性能。它能够提供高达32度的现场覆盖（FC）和超过2.5µm的分辨率,从而在晶圆上实现更清晰的模式。该系统非常适合在直径不超过200毫米的晶片上进行微波生产和其他常规光电池应用。FUSION Rapid 320 FC采用强大的汞灯光源，发射波长为365nm的紫外线辐射，是光敏化学中使用的理想能量范围。它还配备了先进的色差校正（CAC）技术，能够在全场使用更高的数值孔径，同时保持良好的聚焦位置精度和较低的像差。AXCELIS Rapid 320 FC的自动化过程控制模块通过快速和受控的曝光过程促进了长期可重复性。它还提供可实时调节的精确波长稳定，在曝光单元内保持一致的曝光剂量。该单元配备了集成的Coats计量机，用于测量晶片在曝光过程中的聚焦位置。除此之外,Rapid 320 FC旨在提高生产效率。其紧凑的设计使您能够轻松集成清洁室布局。它还可以方便地维护工具,从而加快现场支持响应并缩短停机时间。此外,AXCELIS/FUSION Rapid 320 FC还提供了出色的曝光精度和可重复性,并具有高精度的快门响应时间和脉冲宽度。其晶片处理能力也值得注意，因为它能够支撑尺寸达200毫米的涂层晶片。此外，由于其高分辨率和出色的可重复性，该资产的设计目的是减少耐耗性。总体而言,FUSION Rapid 320 FC是一款出色的曝光机型,可提供高性能、精确度、灵活性和更高的效率。它非常适合电子制造业中广泛的光刻应用。