二手 USHIO UMA-1002-HC93FS #9098801 待售

USHIO UMA-1002-HC93FS是为满足半导体器件制造商的技术需求而设计的先进计量级曝光设备。该系统集成了多项领先技术，为晶圆表征、缺陷检测、先进光刻技术以及其他高端芯片制造工艺提供卓越的曝光监控能力。USHIO UMA 1002-HC93FS的核心是先进的专有曝光控制单元。这台机器做出智能决策,在曝光过程中自动调整参数,以保持最佳曝光质量,在严格的公差范围内提供可靠的结果。该工具还支持对E-Town和E-Line温度的精密用户控制,以精确控制可重复使用的材料。该资产配备了强大的光学系统阵列，用于检测缺陷和精确测量晶圆。光学器件采用F-theta扫描技术、半色调模式识别、晶圆倾斜测量能力的组合来量化曝光质量。该模型还可以精确测量尺寸小于50纳米的缺陷。还对设备进行了校准,使其与大多数曝光工具和晶片类型配合使用,包括可能具有不同长宽比的多层设备。为了最大限度地提高操作员的预期寿命和安全性，UMA-1002-HC 93 FS配备了一系列安全功能。该系统配有防静电板以防止触电、用于快速关闭曝光过程的主动紧急停止按钮以及用于紧急情况的紧急电源按钮。此外,UMA-1002-HC93FS还具有用户友好界面,使用户可以轻松地监视和调整设备设置。机器包含详细的手册和屏幕提示,以指导用户完成设置和操作。总体而言,USHIO UMA-1002-HC 93 FS是一种高级高端曝光工具,可为电子制造业提供先进的计量能力。它的特性和安全措施使其非常适合用于需要精确、可靠的曝光性能的应用。