二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500 #9181417 待售

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ID: 9181417
晶圆大小: 8"
Implanter, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 9500是一种用于制造过程和离子植入研究的离子植入器和监测器。它是一种多用途的机器,提供了广泛的控制参数,可以调整,以实现所需的剂量均匀性在植入的材料。它有一个双源,高密度源,可以提供特殊的植入轮廓。可以命令源在稳态、步进或弧形操作中移动,以优化植入。AMAT 9500提供低功率和高功率操作,可提高速度和效率。APPLIED MATERIALS 9500的一个独特特点是它的响应实时角控制系统。该系统使用先进的电动机驱动器和高分辨率位置传感器,以每步最高3°的高角度精确快速地调节源角度。这允许用户以晶圆的区域为目标,调整剂量,并以更高的精度响应参数变化。9500还具有高精度离子监控器。该装置内置在源腔内,测量和跟踪离去离去的离子量和电流,为植入器提供性能反馈。这有助于用户调整设置以匹配所需的植入效果并确保最佳效果。该机器还提供高级安全功能。这包括一个自锁门、一个内置的橱柜护罩和一个紧急关闭开关。这有助于保护用户免受辐射和其他危害。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS 9500是一种功能强大、用途广泛、可靠的离子植入器和监测器.它提供了广泛的控制参数,角度控制系统和内置显示器,以确保精度和准确性。它还具有先进的安全特性,使其成为一种安全、有效的离子植入工艺选择。
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