二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #149571 待售
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已售出
ID: 149571
High current ion implanters, 4"-6", missing parts
160 kV
Includes:
(2) Disks
(1) Complete Ion Source
(2) Cryo 10
(1) Diffusion Pump
(3) Mechanical Pumps
Computer and Custom Tables
Spare assemblies
Does not includes AT-4 loader
De-installed.
EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160是一款先进的离子植入器和工艺监视器，设计用于将各种材料植入各种基材和其他表面。它能够在各种植入条件下提供准确可靠的数据，并确保植入质量一致。设备由离子源、电源和监控器组成，为用户提供全面的离子束处理解决方桉。离子植入器由交流/直流电源供电,可提供从0到10kV的一系列工作电压。这与专利的"电荷中和系统"相结合，确保植入后不会在基板上留下意外的静电荷，从而降低出现缺陷或材料残留的风险。该单元还配备了一个高压氙室，允许更高的植入物剂量和改进的均匀性。该监视器旨在提供实时植入参数，并能够显示最新的植入信息。这样可以快速有效地优化植入过程。此外，该监控器还与统计过程控制（SPC）机集成在一起，该机记录随着时间推移的结果，使用户能够了解长期趋势并作出相应调整。AXCELIS NV10-160是市场上最先进的离子植入器和工艺监测器之一。它提供了对植入过程的特殊控制,有助于确保一致和可靠的结果.在您的流程中实施此工具可以帮助降低缺陷率,最终提高生产和成本节约。
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