二手 EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9275794 待售

EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A是由Eaton Corporation开发、行业专业人士信赖的先进离子植入器和监控设备，性能可靠，吞吐量高，控制精准。AXCELIS NV 6200A装置由一个由具有射频能力的源组成的源以及能够精确输送离子的组件组成。这样就可以实现高电流密度,而稳定的剂量、电流和能量是很容易实现的.此外,集成扫描技术、二极管激光技术和脉冲激光束（PLB）使EATON NOVA NV-6200A能够精确控制光束特性,包括光斑大小和形状。此外,NV-6200A还具有获得专利的数字光束控制（DBC）系统,该系统提供可调光束电流,使操作员能够微调最终应用程序的要求。这与一个先进的软件包相结合鼓励最大的离子利用率，同时最小化离子束像差。EATON NOVA NV 6200A实现了高度一致和极其精确的结果,具有出色的可重复性,不需要特殊技能。在用离子为枪充电后，该单元被设计用于晶圆加工和植入模式的完全自动化。对于有高端植入需求的厂商来说，它可以被定性为经济实惠的装置。此外，AXCELIS NV-6200A方便用户使用，并提供一系列腔室功能和环境控制，如低污染抽水和温度控制。因此，这台机器非常适合植入各种各样的材料，如Si、GaAs、InAs，甚至生物材料。NV 6200A是一个令人印象深刻的离子植入器和监视器工具，以一个有竞争力的价位提供理想的性能。它得益于可调的光束电流和精密的扫描技术，为用户提供了对植入模式的完全控制。此外,该资产可靠、自动化、用户友好,具有极好的可重复性,是行业专业人员值得信赖的选择。