二手 EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #293615032 待售
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ID: 293615032
晶圆大小: 8"
Ion implanter, 8"
Source module:
Gas box:
Gas line-1: HP(Ar), Tylan
Gas line-2: HP (BF3)
Gas line-3: MKS, SDS, PH3
Gas line-4: MKS, SDS, ASH3
Isolation transformer: Oil type
Injector module:
Source type: ELS / Non-vaporizer
Extraction electrode type: 3-Axis electrode
BOC EDWARDS STP-2000C
EBARA 40X20 Dry pump
Facilities module:
Machine transformer: Dry type
Triple loops chiller
AFFINITY CWA-300L-VHE-3LP, P/N:10185
AFFINITY RWA-012T-BE03CB Disk chiller
(2) CTI Cryogenic 9600 compressors
Linac module:
Injector faraday
(2) LEYBOLD Turbovac 1000C Turbo pumps
EBARA 40X20 Dry pump
(4) RFG-3000
(6) RFG-3001
FEM Module:
FEM Power: EMS:03-165-2-D, P/N:00473110
EMS: 03-165-2-D, P/N:00473110
FEM Guss: P/N:1182890
Endstation Module:
307 Type controller
Ion gauge type: Tube glass
4-Axis In-Air controller
4-Axis Robot controller (Macobot controller)
4-Axis Y-Scan controller
4-Axis Cyro controller
Universal dose controller
Disk module:
CTI-CRYOGENIC OB-8
CTI-CRYOGENIC OB-10
CTI-CRYOGENIC OB-250F
EBARA 40X20 Dry pump
Flag faraday
In-Vac arm
Wafer holder
Gyro
Linear drive
Disk faraday
Resolver faraday
Disk model: Si coating
Rotary motor type: Belt drive
Vacuum cassette elevator type: GRTV
Notch finder
Dummy cassette
Load buffer
E/S Elec rack / Quad console module:
Quad rack module
Quadruple power supply
(5) Quadruple power supplies
E/S Elec rack module:1178580
Cell controller model: 133, P/N:1191297
Ground DI
DI Power conditioner
Gyro controller
Loadlock controller
DEXON / PN:19077660 / Flow hood.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE是为离子束植入应用而设计的最先进的离子植入器和监控器。该设备设计用于半导体制造过程,能够植入高质量的离子,并具有超精确和可靠的结果。该系统利用高能、高压离子源和一系列先进的功能,准确可靠地注入小剂量、明确定义的离子。GSD-HE单元的离子源是具有三轴磁体构型的高度可靠、高能、高压离子源。该离子源能够产生高达2.1 MeV的脉冲离子束和高达2.3 MeV的连续束,并且能够产生最高质量的离子注入。离子源配置性强,能够通过用户输入设置实现各级植入深度、角度和能量。GSD-HE还使用了一系列高级功能来确保准确可靠的结果。该机配备了离子束综合监控工具,可实时监控束强度、束形状、能级、植入离子数量等所有临界参数。这使用户能够获得最准确可靠的结果。资产还有各种警报和安全系统,以保持模型安全运行,以及自动切换功能,提供植入和监控设置之间的自动切换。除了所有这些功能外,GSD-HE设备还提供了一系列高级功能,以提高任何植入过程的速度、准确性和可靠性。这包括一个自适应扫描系统,允许更快,更高效的植入,以及能够编程单元在一个周期内执行多个植入。GSD-HE也有一系列的高性能控制和诊断工具,以确保可靠的结果,例如FAT取样工具为日后的扫描取样以验证植入的准确性,以及内置的校准模式以确保植入的准确性和可重复性。GSD-HE是一种可靠、高性能的机器,它为用户提供了广泛的高级功能以优化其植入过程。它拥有多种监控系统,是经验丰富和缺乏经验的用户的理想选择。结合其最先进的组件,GSD-HE是高质量、可靠植入效果的理想选择。
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