二手 VARIAN 350D #9027984 待售

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VARIAN 350D
已售出
ID: 9027984
晶圆大小: 3"-4"
Ion implanter, 3"-4" Research cube end station.
VARIAN 350D是由VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.制造的离子植入器和显示器。该设备专为半导体材料研发中的离子植入而设计。是一款适用于高端植入应用包括开发新半导体技术的高压、大功率仪器。VARIAN 350 D由主系统控制器、植入室、植入源、光束线、电源和主目标组成。主单元控制器是控制仪器操作的中控台。这包括监控诸如束电流、束电压、束线几何形状、束形状和剂量等过程参数。植入室是一个由法拉第笼子保护的洁净室环境,可以实现最佳的离子植入。植入物源负责将加速离子提供给要植入目标材料的主机器控制器。光束线由几个目镜和监视器组成,这些监视器和监视器优化离子束并允许其指向所需的目标。另外,电源提供操作仪器所需的电源。最后,主要目标是将离子植入目标材料的位置。350D提供卓越的性能、准确性、可靠性和灵活性。它具有0.3-2.5m/sec的速度范围,并且可以植入硅、硅​​、砷化氙等材料。此外,该工具可配置最多四个植入源,用于植入或扩散过程。此外,该仪器非常适合各种应用,包括晶圆查询、光电器件、内存器件、翻转芯片技术和微处理器。高精度和高精度也是350D的主要优点。它利用先进的扫描控制资产来传递离子,从而确保最大性能和准确性。此外,内置高压监视器可防止突然出现高压情况,从而提高安全性并保护人员和仪器。总体而言,VARIAN 350D是涉及半导体的研发项目的理想选择。其令人印象深刻的特点,出色的性能和准确性使其成为开发卓越半导体技术的理想选择。
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