二手 VARIAN 350DE #9055664 待售

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VARIAN 350DE
已售出
ID: 9055664
晶圆大小: 6"
Medium current implanter, 6".
VARIAN 350DE是来自高性能半导体处理解决方桉领导者VARIAN Semiconductor Equipment Inc.的离子植入器和显示器。这种高端离子植入器为大容量半导体制造和加工应用提供了精确的操作、卓越的性能和可靠性。350DE设计提供稳定和可重复的掺杂浓度设置和更多的过程稳定性。它的高电流和高速能力可以提高生产率和最大掺杂吞吐量。它配备了最先进的光束监测器,以确保光束强度恒定,剂量控制均匀。具有纠正梁稳定性问题的光束校正能力。它设计了一个坚固的离子束,可以处理不同的晶圆基板具有很高的精度。VARIAN 350DE有一个智能的馈电控制系统,可以自动加载、卸载和存储晶片在特定的口袋中,还可以同时引入多个晶片。它具有24区晶片清洁功能,可以在植入前从晶片中去除不需要的颗粒。其能量稳定剂确保了可靠的植入能量,以实现良好的剂量控制。350DE配有先进的控制结构和离子束的三维视图,以获得最高的精度和最佳的剂量。其集成控制系统使用户能够快速访问和操作植入参数。它还具有强大的数据记录系统,可以存储来自各种植入物和操作的数据。总体而言,VARIAN 350DE离子植入器和监控器为中大容量半导体加工应用提供了一个强大而可靠的解决方桉。它具有可靠的操作、可重复的植入过程和先进的监控功能,以确保产量最高。它还提供出色的数据收集和管理功能,以支持用户的生产需求。
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