二手 VEECO / DEKTAK RF350 C2 IBE #9124214 待售

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ID: 9124214
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 1997
Ion beam etcher, 6"-8" Process modules transport module systems include: BROOKS Automation robot wafer handler system Loadlock A & B Electronics cabinet contains: (2) APC 450 UPS Raritan compu-switch Industrial PC (2) LEYBOLD INFICON IG3 Vacuum gauge controllers LEYBOLD NT20 Turbovac controller (2) SORENSEN DCS60-18 Power supplies SORENSEN DCS20-150 Power supply SPELLMAN SL300 Power supply SPELLMAN SL1200 Power supply Process modules include: LEYBOLD MAG2000 Turbo pump & controller CTI Onboard cyropump with fastregen sputtering module CTI 9600 Compresser RFPP AM-10/20 Auto matching network ADVANCED ENERGY RF10M / RF20M Power supply CTI Onboard controller RF matching network monitor ADVANCED ENERGY RF-20MWC RF Generator Main power distribution panel: 208V,100A 1997 vintage.
VEECO/DEKTAK RF350 C2 IBE是一种用于制备和表征先进材料表面的离子铣削设备。适用于薄膜的计量、失效分析和平面化,以及许多其他应用。该系统利用聚焦的高能离子束磨掉材料表面。最大可容纳350毫米的有效载荷,允许对各种尺寸和形状的样品进行铣削。该单元有一个自动控制机器,它使用户能够为铣削过程定义所需的参数。计算机控制的界面允许在两个运动平面上方便地操纵离子束。它还允许在样品的表面上创建复杂的铣削特征。该工具配备了高分辨率数字图像/视频资产,用于获取铣削表面的图像/视频。该型号具有先进的安全特性,例如互锁设备,它可以防止系统在打开腔室时运行。它还包含一个紧急停止按钮。该单位符合环境安全和能效行业标准。气体输送机的设计旨在提供对气体流动和颗粒产生的精确控制,并确保最小的废物。此外,该工具还利用了先进的水冷设备,可最大程度地减少功耗并降低噪音水平。该模型还集成了全自动等离子清洗设备。这样可以在铣削前清除表面污染。它还能够对腔壁进行化学清洗,以确保被铣削样品的表面质量。总体而言,VEECO RF350 C2 IBE旨在提供高效、准确的表面制备和表征系统,同时还提供最大限度的安全和保护环境。该单元是计量、故障分析、薄膜平面化等多种应用的理想解决方桉。
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