二手 CANON EX4 #9242644 待售

CANON EX4 Wafer Stepper是一种高性能晶圆光刻设备，设计用于处理各种生产需求。该系统非常适合晶圆级封装和其他光刻应用。它具有模块化设计,包括高精度XY定位阶段、曝光单元和吞吐量控制设备。EX4的XY定位阶段具有0.2 μ m的高分辨率和0.1 μ m的重复性，在光刻元件的放置上提供了卓越的精度和重复性。舞台由两段式机器组成，低级的阶段为粗动，高级的阶段为精调。运动控制技术基于公司专有的Servo4运动控制模块。这有助于确保在整个晶圆扫描路径中平稳准确地控制运动。佳能EX4的曝光工具包括电动机驱动的镜面扫描仪、30-kHz高速扫描和高功率红外激光。它还具有两轴同步扫描模式，使其能够完全控制光束光斑大小和均匀性。资产还有一个可选的光学空中图像测量装置，有助于确保适当的晶圆曝光。EX4的吞吐量控制器是N控制器。此设备通过调整加压和流量控制设置来影响模型的吞吐量。控制器的计时器设置可以调整以达到所需的曝光时间。总体而言，CANON EX4 Wafer Stepper是一种先进的晶圆光刻设备，技术高度先进。它提供了可靠可靠的性能，是各种晶圆级封装和光刻应用的绝佳选择。