二手 CYMER ELS 5410 #9205172 待售

CYMER ELS 5410是一种波长为1,064 nm的激光，用于深紫外光（DUV）光刻和半导体加工。它是为半导体制造工艺和其他相关应用而设计的准分子激光器。它是一种高度可靠的激光器,专为半导体制造制造过程中的工业用途而设计,其长寿命和一致的脉冲性能使其成为当今半导体工业的宝贵工具。CYMER ELS-5410在近乎衍射受限的光束中提供高达8mJ的高脉冲能量和800 MW的峰值功率。其脉冲长度为6 ns，确保适用于介电膜图桉、多晶硅蚀刻、MEMS切割和集成电路光刻等多个应用领域。激光以高达500Hz的重复速率工作，脉冲间抖动低，脉冲重复速率漂移低。ELS 5410可靠性高，寿命超过15000小时。它能够提供更高的功率输出,而无需不断维护和监视设备。激光的玻璃体也提供了热保护，可以保证接触它的人员的安全。为了保证激光器的工作效率和精确度，包括激光控制单元在内的ELS-5410闭环系统是完全可调的。控制单元可在脉冲宽度、脉冲能量、调谐和触发器等多个参数中进行调节，用于半导体加工的多个应用。CYMER ELS 5410是一种高度灵活可靠的机器，用于半导体制造。其精确的光束、高能量和脉冲长度使其成为各种应用的有效工具。该装置操作可靠，闭环系统，热防护，操作安全方便。