二手 CYMER ELS 5410 #9257268 待售

CYMER ELS 5410是一款功能强大的激光设备,旨在满足当今半导体制造环境中最严峻的需求。该系统利用激光源的脉冲控制来实现最佳的吞吐量和最佳的材料去除速率。该单元构建在一个易于操作和维护的稳定、工业级平台上。它包括精密直线电动机,用于绝对水平的运动控制,具有出色的精度和可重复性.CYMER ELS-5410还具有一个渐进式扫描机,以确保精确的光束传递.ELS 5410的大X、Y和Z行程使得它成为最困难的激光工艺的理想选择。该工具的激光源可提供最高的利用率和正常运行时间,同时可容纳多种材料。激光源的脉冲功率易于调节，以优化材料去除率，更好地利用工艺窗口，同时还可以控制脉冲重复速率，最大限度地减少热漂移。ELS-5410的集成控制资产与各种激光硬件和机器人技术无缝配合使用,非常适合在自动化环境中使用。该模型包括用于编程过程步骤的直观GUI，用户定义的参数可以快速更新。安全始终是一个问题,CYMER ELS 5410通过密封激光操作、紧急互锁系统和石英屏蔽窗口等功能解决关键问题。激光设备的电气安全已通过认证，符合目前德国和欧洲工业用途激光标准。总体而言，CYMER ELS-5410激光器为半导体制造商提供了最具挑战性的应用的可靠工具。其高功率、精确度、广泛的工艺参数和坚固的安全特性使其成为当今领先的工业激光系统之一。