二手 CYMER ELS 6400 #9224613 待售

CYMER ELS 6400是一种设计用于半导体和微电子制造应用的高能准分子激光系统。它以单一波长产生紫外线，通常为193nm。激光系统由一个谐振器组成，它是一个包含激光介质和输出耦合器镜的抽气室。激光介质通常是稀有气体和卤素化合物的溷合物，如氯化氙（XeCl）。这种溷合物被一系列电脉冲激发，导致分子释放光子。光子通过受激发射被放大，进入谐振器。在谐振器内部，光子在两个反射镜之间来回反弹，或输出耦合器和总反射镜。光子最终到达输出耦合器镜，这使得它们能够离开镜头。一旦离开谐振器，光子被聚焦成单个光束。激光能够产生高能脉冲，通常高达300焦耳，脉冲宽度为7至10纳秒。某些版本的CYMER ELS-6400还可以同时产生多个脉冲，用于快速并行处理。ELS 6400产生的光束具有很高的相干性，用于光刻、烧蚀和其他激光处理应用。它也被用于医疗和美容应用，如皮肤重铺和眼科手术。ELS-6400设计为节能，比传统的准分子激光器发射的排放量少。其低维护和可靠的性能使其成为许多行业中光刻和烧蚀应用的热门选择。