二手 CYMER EX 4000A #9015366 待售

CYMER EX 4000A是一种用于现代半导体制造过程的脉冲准分子激光器。这种高性能激光以248nm的波长提供深紫外线（DUV）辐射。它能够进行烧蚀、光刻和清洁操作，是蚀刻、标记和切割等光刻过程中必不可少的组成部分。该设备由低压高效脉冲模块供电，每平方厘米可提供多达61焦耳的能量。这种高功率输出允许高能光解离和随后的烧蚀，从而提供优异的工艺效果。出色的光束轮廓和脉冲能量稳定性使烧蚀性能稳定、均匀，获得了非常精确的结果。光束均匀性高于80%，折射率小于1.4，散度小于4 mrad。该系统还包括内部和外部快门,可实现无快门操作。该单元包括一个集成的氦硼激光干涉仪，它提供闭环干涉控制，以确保精确的脉冲到脉冲的可重复性。这提供了烧蚀操作的精确度。低噪声发生器进一步有助于减少干扰和在短集成时间内清除读数的不必要的歧义。该机还包括488-nm USB、9针RS-232串行端口以及用于现代化输入的EtherCAT EtherNet/IPTM接口等多种接口选项。EX 4000A的高可靠性和鲁棒性使得现场作业能够长期有效。还提供各种现场备件和附件,以增强工具的性能。该资产包括一个用户友好的界面，这使得设置和操作简单和无忧。此外,还可以借助服务平台对设备进行远程维修。总体而言，CYMER EX 4000A激光器是专门为现代半导体制造工艺设计的先进激光器模型。它提供坚固的性能、可靠的操作和卓越的光束质量,以实现高精度的操作。广泛的界面选项确保了操作和维护的方便,而用户友好的界面则促进了设置和操作的方便。