二手 CYMER EX-5700 #9106784 待售

CYMER EX-5700是为制造而设计的高端准分子激光设备。它为半导体行业的各种光刻工艺提供卓越的性能和卓越的吞吐量。该系统由电源、激光头、光束输送光学器件和晶圆处理单元组成。激光头基于先进的工业级设计，具有气体消耗低、效率高、寿命长等特点。它由一台500瓦射频发电机提供动力，产生193nm波长辐射的高速、扩散光束。然后，这种辐射通过一系列衍射光栅和聚焦透镜被引导，这些透镜将光束细化并指向晶圆。光束传递光学器件采用优质材料制成，具有低反射和高透射性能。这样可以确保UV灯正确聚焦,并最大限度地提高吞吐量效率。还可以使用电动伺服远程调整焦点。晶圆装卸机由机器人负载锁、高精度级、专用三点对准工具组成。该工具能够处理直径不超过6英寸的晶片,并将其精确定位在200纳米的公差范围内。CYMER EX 5700设计为运行速度非常高，但仍保持光刻工艺的完整性。它也是高度可靠的，需要最低限度的维护。还包括激光百叶窗、报警器、联锁等几个安全功能。所有这些功能相结合，使EX-5700成为一个非常强大和可靠的机器。