二手 EVG / EV GROUP 620 #9165257 待售

EVG/EV GROUP 620掩模对准器是一种强大的工具，用于生产用于关键半导体制造加工的高精度掩模。EVG 620利用精密的5轴级、先进的直线电动机和溷合空气/水冷设备，促进直径达300 mm的基板的可靠、精确的对准和加工。EV GROUP 620集成电路（IC）模具结合对准系统可确保高精度、经济高效和可重复的光刻结果。它可以灵活放置,并通过10mm Z摆动进行计数,以实现任何IC模具尺寸的完美对齐。此外，它的运动控制单元确保了精确度为10微米的高速、精确对准晶片和基板的良好介质偏转性能。采用变焦光学和内部滤镜两种高分辨率相机进行高精度晶圆对准验证。相机有一个12倍或8倍的整体变焦，最小特征大小检测30微米的两个无图案和图案基板。620具有可编程菜单驱动的晶圆对齐机，可以方便地设置和编程所有操作参数。另外还有一个自动校准功能，可以在掩模对准过程中轻松跟踪基板的尺寸变化。该工具支持正向和负向图像对齐,并提供快速自动聚焦功能。具有均匀光场的可调照明模块消除了暗点/亮点,并确保了最小的0.05°倾斜误差,以实现最简单、最有效的对准。EVG/EV GROUP 620掩模对准器是半导体制造过程中必不可少的工具,需要高精度和重复性。其强大的运动控制资产、先进的成像技术和可编程的对准参数确保了处理大型基板时的无与伦比的精度。