二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9159537 待售

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ID: 9159537
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner是一种先进的、高度精确的自动光刻设备,用于将半导体图样对准和处理到硅片薄片上。该系统非常适合面罩制造和晶圆逆向工程等应用,仅举几例。MICROTEC MA150配备了先进的激光光学单元,使其能够实现小于0.5%的尺度因子和失真误差,同时提供极其精确和高分辨率的成像。此外,该计算机还具有与Microsoft Windows兼容的用户界面,使用户能够轻松地控制工具的精确对齐和晶圆阵列。KARL SUSS MA 150的对准单元有各种特点,例如集成的自动对焦机制,确保掩模相对于晶圆的精确定位,以及使用先进的6步调整资产,如果需要可以用来微调和调整对准。该模型还带有强大的对齐搜索引擎,可用于快速计算和验证掩模和晶圆之间的正确对齐。谈到制图单元,MICROTEC MA-150配备了大功率激光源、用于精确掩模和晶圆运动的扫描头,以及多种先进的掩模。这种特性的组合使设备能够以高精度和高分辨率将图样成像到晶片上。该系统能够成像最小线宽4微米、最小CD(临界维度)0.2微米的图样。在连接方面,MA150可以轻松连接到其他外部设备。它与多种常用的软件包兼容,如GDS(图形设计系统),以及与许多较常见的半导体处理工具,如焊接和电镀系统。总体而言,MICROTEC MA 150 Mask Aligner是一个最先进的单元,它甚至满足了最苛刻的半导体行业应用的要求。其先进的对准单元、强大的阵列功能以及与其他外部设备的轻松连接能力使其非常适合在一致的基础上生产高质量的硅片。
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