二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #60054 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 24是为各种光刻应用而设计的自动化掩模对齐器。这台机器设计得非常精确，能够达到0.25 µm以下的分辨率。它配有光学照相机，用于以高精度评估掩模与基板之间的对准。MICROTEC MA 24包含了一系列广泛应用的功能,例如步进对齐控制和手动对齐校正。要开始对准过程,KARL SUSS MA 24会收到放置在机器支架中的基板。基板可以由硅、二氧化硅、玻璃等多种材料组成，而持有者的尺寸设计为适应各种基板尺寸。装载基板后，将掩模放置在掩模托架中，然后以与基板完全对齐的方式插入掩模定位阶段。然后,MA 24在开始标线传输过程之前运行一个简短的掩码对齐过程。标线传输过程需要KARL SUSS/MICROTEC MA 24使用包括LED、弧光灯、贝塞尔光束、激光投影系统在内的多种先进光学器件，将掩模的图桉精确地传递到基板上。这些光学元件结合了步进对准控制，可以非常精确地将标线放置在基板上。MICROTEC MA 24还包括一个手动对准校正功能，允许用户改变屏蔽在基板上的对准，以便更准确地放置标线。结晶体转移过程完成后，KARL SUSS MA 24进入固化阶段，通过固化抗蚀剂材料将转移的图样永久转移到基板上。MA 24可以配备UV固化灯或热板，具体取决于当前应用的要求。最后，在图样固化后，可以将机器设置为通过重复对齐过程将另一个掩模对齐到同一个基板上，而无需移除基板。总体而言，KARL SUSS/MICROTEC MA 24是一种高度精确的掩模对齐器，专为各种光刻应用而设计。其先进的光学和对准特性允许高度精确的标线放置到基板上，其固化特性确保图样永久固定在基板上。机器能够重新加载以前对齐中使用的相同基板,从而节省了处理时间并提高了效率。