二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9173487 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 6是一种掩模对齐器，又称步进器。它主要用于光刻工艺，用于将辐射敏感材料的图样精确沉积到基板上。MICROTEC MA6步进器由底座、底座模块、真空卡盘和图桉头组成。KARL SUSS的底座MA-6容纳机器内的所有元件。它持有x、y和z轴，以及板控制卡，以及用于管理系统的控制柜、视觉设备和干涉仪。底座模块包含一个升降台，用于在真空卡盘和放置在外部地板上方的晶圆环之间运输基板。真空卡盘由多根柱子组成，卡盘可以固定在多根柱子上。它们包含机械销钉和传感器,用于精确固定基板以进行加工或对准。MA-6还包含一个图样头，它本质上是一个带有激光辐射源的机器人手臂。激光束用于将图样沉积到基板上，基板通过专门的软件程序写入材料上。KARL SUSS/MICROTEC MA6具有高度精确的精细聚焦步进余量，确保根据设计规格在基板上精确打印图样。它还具有一些先进的功能，包括图样头和基板之间的微米级对准、具有内置显示器和成像功能的视觉单元、允许基板旋转的旋转板以及最先进的照明机器。有了MA6，可以在一次运行中处理多个基板，通过使用多个图样头可以同时暴露一系列基板。MICROTEC MA 6通常用于光刻工艺，用于将辐射敏感材料的图样精确沉积到基板上。适用于半导体器件制造、医疗器件技术、柔性电子、微电子产品制造等广泛应用。其突破性的技术特点和易用性使其成为光刻设施的可靠、经济的选择。