二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #293630419 待售

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KARL SUSS / MICROTEC MJB-3
已售出
ID: 293630419
晶圆大小: 4"
Mask aligner, 4".
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3是为光刻应用而设计的顶级掩模对齐器。它采用了新的镜面镜像设计,可确保卓越的对准精度和超大的工作空间。这种掩模对齐器能够提供高度调节和加热的环境,同时处理具有广泛参数的晶片和基板。MICROTEC MJB3由各种组件和功能组成。它配备了12英寸均匀的紫外线光源,确保光刻胶的正确曝光。此光源可以调整到不同的设置,如高动态对比度、单色和彩色LED均匀性。内置冷却设备可用于冷加工基板的生产。KARL SUSS MJB3使用创新的光学定心系统,以确保晶圆在曝光前正确定位。此单元包括一个Z-Axis驱动器和居中传感器,可放置在腔室的所有4个象限中。这样可以确保所有侧面的对齐都是准确的。它还有一个XY计量机,用于X和Y轴上的垂直对齐变化和晶圆映射。此外,掩码对齐器还包括用于掩码配准的集成工具,可帮助快速准确地放置掩码。MICROTEC MJB3还具有多种安全功能,以保证您的样品和操作机器的人员的保护。为了保持较高的精度和准确性,可以每30分钟进行一次自动校准,以检测设备的微小差异。此外,还配有互锁、限位开关、UV低压监控等功能,确保安全运行。总体而言,MICROTEC MJB3是一种先进的掩模对准器,适用于各种光刻应用。它具有高精度、精确度和安全特性,对于任何需要可靠的掩模对齐器的人来说,都是可行的选择。
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