二手 KARL SUSS / MICROTEC MJB-3 #9174100 待售
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ID: 9174100
Mask aligner
Type: 100UV030
Mimir 505 Optical energy controller included
USH-350DP UV Lamp
Illuminates:
UV Lamp
Microscope lamp
(3) Objective lenses:
NPL 5x / 0.09 ∞ / - / 39
NPL 10x / 0.20 ∞ / -
HP 20x / 0.30 DF ∞ / 0
Damaged part: Microscope manipulator.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-3掩模对准器是一种半导体设备，用于在集成电路的制造中接触对齐抗蚀层。这种掩模对准器能够同时进行光学和热接触对准，允许它用于许多不同类型的设备，如模拟电路、标准/低压数字电路、薄膜晶体管和金属绝缘体-金属二极管。MICROTEC MJB3具有高精度光学设备,该设备使用获得专利的Apodizer光学系统,每个掩模可精确对准多达16个接触端口。此单元可确保每个芯片的触点与下一个芯片的触点完全一致,从而无需在集成电路的不同层之间进行广泛的触摸。KARL SUSS MJB3线性化模式的分辨率可达2.5 μ m,接触开口的分辨率可达1 μ m,非常适合任何类型的复杂半导体工作。MJB3为用户提供了大量的编程选项，以确保准确性和速度。多个晶圆浴可以与机器同时使用，以保持清洁，以及提高批量产量和缩短周期时间。此外,可以对MICROTEC MJB 3进行微调,以考虑环境限制,从而实现精确的对齐,而不会因热或压力变化而产生过多的不准确性。KARL SUSS MJB-3还可以实现更先进和复杂的制造过程。通过其双级加热工具，能够在金铜等牺牲层上驱动回流甚至电镀，使得结构设计极为复杂先进。KARL SUSS MJB 3是一款用户友好的设备，允许易于操作和维护，加上高端性能和精确度。其先进的多模式对准系统、可靠的晶圆处理以及巨大的编程选项使其成为市场上最高效、用途最广泛的光刻系统之一。
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