二手 CARL ZEISS AIMS 248 / MSM 100 #9275806 待售

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ID: 9275806
System PHOTOMETRICS Quantix Camera included.
CARL ZEISS AIMS 248/MSM 100是一种掩模和晶片检查设备,设计用于提供掩模和晶片表面的高精度自动显微镜成像。该系统能够高精度地获取掩码和晶片的图像,提供自适应扫描技术(AST)和感兴趣区域(AOI)等先进的图像处理功能,以确保可重复和可靠的图像质量。AIMS 248/MSM 100使用一系列光学元件,包括大视场、低光照条件、远心透镜和100倍物镜。这提供了快速、高效和可靠的半导体表面成像所需的分辨率。此外,该单元还配备了一系列功能以进一步确保精度,包括颜色编码器、图像缝合、像素级模式识别以及自动裁剪和过滤查看。这为要求苛刻的应用程序(如过程控制和故障诊断)提供了无与伦比的图像清晰度和准确性。CARL ZEISS AIMS 248/MSM 100具有集成的晶圆映射功能,能够有效地选择检查区域并查明掩模或晶圆中的错误区域。此外,它的高精度自动对焦显微镜采集机可自动获取高分辨率数字图像和掩模或晶圆表面的前光接触图像。而且,它的算法可以精确检测几乎任何模式误差,从简单的缺陷到复杂的模式或结构。这使得它非常适合检查高度复杂的设计。此外,该工具设计用于与其他常见的成像工具如X射线、FTIR、SEM、UV、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和原子力显微镜(AFM)配合使用。这允许用户比较从每种技术获得的数据,以获得更全面的掩模/晶圆表面视图。最后,资产是完全自动化的,在检查、测量和分析过程中提供自动化操作。这样就消除了人为错误的可能性,并能够快速验证和分析掩码和晶片。综上所述,AIMS 248/MSM 100是一种先进的掩模和晶圆检测模型,旨在提供对掩模和晶圆表面的高精度成像。该设备具有一系列确保精度的功能,包括颜色编码器、像素级模式识别、自动裁剪和过滤查看以及集成的晶圆映射功能。此外,它还具有与其他成像技术配合使用的能力,使用户能够获得有关表面的更全面视图。最后,它的自动化操作确保了一致和可靠的结果,同时消除了人为错误的可能性。
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