二手 DCG SYSTEMS / CREDENCE EmiScope III #9117179 待售
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已售出
ID: 9117179
晶圆大小: 8"
优质的: 2007
Time-resolved photon emission system, 8"
ATE Direct dock capability
IR Imaging with high speed, high resolution InGaAs camera
Standard IR photon counting detector/DAQ electronics jitter (FWHM): 75ps, noise rate: < 15kHz
High accuracy apertures for spatial isolation of transistors
System/SW Control
PC Based System Control, Windows XP OS
Newport XYZ Stages
OUT Air Cooling
Fluid spray cooling compatible factory or field upgrade option
Laser scanning microscope compatible factory or field upgrade option
Standard system power: 120 VAC, 60Hz, 15A
2007 vintage.
DCG SYSTEMS/CREDENCE EmiScope III是一款先进的半导体掩模和晶圆缺陷检测设备。该系统旨在发现半导体制造工艺和硅晶片表面上使用的光掩模缺陷。它使用创新技术对最复杂的半导体掩模设计进行快速扫描速率的高分辨率检查。CREDENCE EmiScope III单元利用镜头技术和光学成像系统的最新发展,在掩模和晶圆缺陷检测方面实现了出色的图像清晰度和准确性。它具有高性能的数字线扫描相机和超大视野,为高分辨率掩码和晶圆缺陷检测提供了详细的广域覆盖。该机还结合了5度柔性倾斜平台、高变焦范围和伺服电机控制等微检应用。DCG SYSTEMS EmiScope III通过在短时间内自动检测缺陷,消除了手动检查的需要。该工具配备了KLA先进的缺陷检测算法,提供了对掩模模式、测试结构和表面安装组件的快速、准确的分类。它以综合摘要报告的形式生成结果,使用户能够轻松地识别和测量缺陷。此外,EmiScope III资产的交互式软件套件允许用户快速修改检查参数,实时查看缺陷结果。它有助于调整和聚焦操作,以确保最大的图像质量。该模型还提供自动快门控制,以减少不希望的曝光和电磁干扰(EMI)的敏感性。DCG SYSTEMS/CREDENCE EmiScope III旨在在掩模和晶片缺陷检测中提供卓越的性能和准确性。该设备在各种半导体掩模设计和复杂的硅晶片表面上提供了快速的缺陷发现。其先进的光学成像技术和缺陷检测算法使其成为工艺改进和质量保证的理想选择。
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