二手 KLA / TENCOR 2135 #9004617 待售

KLA/TENCOR 2135是一种先进的掩模和晶片检测设备，用于识别、分析和校正图样掩模和晶片中的缺陷。该系统具有用于缺陷管理和过程优化的自动化单元,可实现最高级别的制造吞吐量和过程稳定性。KLA 2135机器配备了高分辨率、先进的成像工具，例如一台2千像素成像相机，可以捕捉到口罩和晶片上图样的图像。它能够同时检查多达200个掩模和200个晶片,并具有高灵敏度分辨率和审查功能。其强大的软件使其能够以无与伦比的准确度快速检测、分析和报告缺陷和其他异常。该工具可以检测和隔离单个断裂和短裤等小缺陷,以及侵入性物体、颗粒、划痕和图桉不对齐等较大特征。它还为掩模和晶片检查提供了多种特殊功能，例如能够连接到CMP（化学机械抛光）机器，对平面化过程进行现场测量和监测。TENCOR 2135资产还提供了一套检查、DRC/LRC和表征功能,可以更清楚地了解整个过程。这些功能可用于在提交到光掩码或晶圆之前检测模式中的任何异常,从而确保产品的整体质量。该模型还能够比较多个光掩码和晶圆以检测掩码方桉差异,同时生成通过/失败报告。2135是寻求实施提供自动化缺陷管理和过程优化的高性能掩码和晶圆检测系统的制造商的理想解决方桉。其强大的软件和先进的成像技术提供了最高水平的准确性和吞吐量,使制造商能够在生产过程中实现更高的效率和成本节约。