二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9276005 待售
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已售出
ID: 9276005
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Overlay inspection system, 12"
With ASYST IsoPort load port, P/N: 9700-9129-01 Rev K
Dual load ports EFEM
With ASYST IsoPort
Signal light tower
BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot
SBC Controller
Robot controller
Handler
Pneumatic box
Z-Stage
Optic
Computer
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Printer
EMO
Shelf
Keyboard
Mouse
Missing parts:
I/O Interface board
Floatation controller
Motion controller
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer 10 XT是一款为提高片上缺陷检测性能而开发的高端掩模和晶圆检测设备。KLA ARCHER10XT旨在为缺陷检测提供更高的吞吐率和更高的灵敏度。TENCOR ARCHER 10XT利用场效应晶体管扫描仪(FETS)实现了对纳米尺寸缺陷的灵敏度,并获得了亚微米分辨率的数字图像。它配备了先进的高速扫描仪和成像技术模块,可以对晶片进行连续成像,同时将吞吐量速率提高到每小时20个晶片。KLA Archer 10 XT提供了先进的掩模模式识别功能,可实现半导体晶片的自动模式识别。先进的对齐技术确保掩模图样和晶圆图像的精确对齐,以准确识别缺陷。该系统采用高性能CCD阵列和先进光学器件,提高了图像采集和缺陷检测精度。该单元还包括一台精密的图像处理机,其设计目的是根据预先定义的标准对缺陷进行检测和分类。此功能允许根据行业指南改进缺陷检测和分类。高级信号处理技术用于表征缺陷类型并确定适当的响应以采取行动。TENCOR ARCHER10XT提供了一个用户友好的界面,并且与fab控制软件等计算机辅助工具完全兼容。此外,该工具可与父级和上游系统集成,以实现无缝、自动化的数据收集和分析。该资产还允许集中管理检查作业和数据记录,以实现高级报告和数据管理功能。与传统的检测系统相比,ARCHER 10XT提供卓越的分辨率、更快的吞吐量和更高的灵敏度。对于需要高性能和精确故障检测的半导体制造商来说,这种模型是理想的选择。
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