二手 KLA / TENCOR Archer AIM #151422 待售
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已售出
ID: 151422
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Overlay inspection system, 12"
Front end only
(2) ASYST 300mm IsoPort load-ports:
PN: 9700-9129-01 rev J
SW ver: 5206-2702-0800
Brooks PRE-300B-U-I-CE-S2 pre-aligner:
KLA PN: 0029191-000
Brooks robot handler:
3-axis, single arm, single blade / end-effecter
Mini-environment with HEPA filter
CE marked
2006 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM是一种自动掩模和晶片检查设备,具有多种专门设计的功能,以确保晶片的质量和规格得到维护。它能够确保不存在任何可能以任何方式危害晶片质量的关键缺陷。KLA Archer AIM使用先进的光学、高质量的目测技术和优越的计量能力,以确保所有缺陷都得到准确的识别、量化和分类。这有助于提高芯片产量,降低芯片故障风险。TENCOR Archer AIM附带了MetaSuite™、Image Coach、ProPerf、SuperTronics、BitMap、AIM-Scan和AIMTest等一套功能强大的软硬件。MetaSuite ™可阐明掩码和晶片阵列中的缺陷,而AIM-Scan则使用高级算法来确保阵列布局完全准确。Image Coach是一种3D检查工具,用于测量缺陷的形状和大小。BitMap快速映射出缺陷形状和大小,以便传送到数据库。ProPerf是一个性能模块,可快速准确地评估晶圆表面的性能。SuperTronics工具与ProPerf结合使用,以确保晶圆的电气特性也是正确的。AIMTest是一个半自动测试系统,在晶圆的制造过程完成后对其进行检查。Archer AIM还能够提供缺陷密度信息,如位置、大小和形状。这有助于识别可能导致产量损失的微观和宏观缺陷。此外,该单元还具有丰富的用户界面和灵活的自定义选项,用于可视化、数据分析和快速原型设计。总体而言,KLA/TENCOR Archer AIM是晶圆和掩码检查的强大工具,它配备了高图像分辨率、缺陷分析和有关晶圆的全面信息的功能。此外,它的高端模块化软件和硬件使它成为一个高度定制和可靠的机器。
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