二手 KLA / TENCOR Archer AIM #64588 待售

KLA/TENCOR Archer AIM是一种自动化直观的掩模和晶圆检测设备,旨在实现快速、可靠和高性能的掩模检测。该系统被设计为一种快速高效的工具，能够在缺陷变得关键和昂贵之前发现和纠正缺陷。它旨在以更高的分辨率和更少的缺陷提供增强的性能。该装置能够检测和纠正光掩模中的缺陷以及光刻（晶片）缺陷。它设计为用户友好,使非专家能够快速轻松地执行自动化的例行任务,并在发现缺陷时快速检测和纠正缺陷。该机配备了广泛的自动掩模检测能力，如缺陷成像、签名分析、分类量化、缺陷分类分析和模式识别等。它还包括最新的狭缝扫描成像和对准，能够捕捉光掩模和光刻水平上的缺陷。该工具旨在检查正面和负面的光掩模布局,并能够在1 x nm到5xnm分辨率的尺度上查找和纠正错误。它还能够检测广泛的缺陷，从颗粒、不透明的异物和灰尘到针孔、图样缺陷和错位。该资产能够检测和纠正介质缺陷（即在现场可见或已检测到的缺陷和大缺陷）,以及在其他不可见的模式缺陷范围内的缺陷。该模型还配备了一套灵活的成像工具,使每一个掩模层都能以可用的最高分辨率进行查看。该工具还能够根据需要在密集填充区域和间隔区域之间转移焦点,并进行缩放以使用户更仔细地查看受影响的区域。该设备还提供内置故障管理和日志记录功能,使用户能够快速轻松地查看所采取的纠正措施以及有关自动检查结果的数据。该系统还能够提供外地新缺陷信息的快速更新，并生成报告供进一步分析。最后，该单元的设计目的是为检测和纠正缺陷提供成本效益最高的解决方桉，提供培训、软件更新和系统维护等一整套服务。该机也具有很高的可扩展性，必要时可以轻松升级。