二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9097080 待售

KLA/TENCOR Archer AIM是一款创新的掩模和晶圆检测设备，提供先进的缺陷检测、粒子表征和精密晶圆级图像分析。KLA Archer AIM使用高分辨率相机，加上先进的图像处理软件，创建了光掩模和/或晶圆表面的完整3维表示，允许精确的缺陷检测、精确的图像分析和精确的粒子表征。TENCOR Archer AIM支持精确的编辑和缺陷映射功能,并提供全面的晶圆映射。这张地图被用户用来跟踪和分析晶圆表面发现的缺陷和颗粒的位置、形状和大小。通过精确测量和跟踪缺陷几何形状,Archer AIM是提高高级节点设备缺陷耐受性、降低排泄率和提高产品产量的强大工具。独特的是，KLA/TENCOR Archer AIM的光束剖面分析系统还利用先进的光束移位技术和专门设计的光学器件来测量光束的尺寸、指向和散光。这是通过显示一系列不同的斑点（称为"斑点种群"）来完成的，这些斑点代表可能存在的所有不同类型的缺陷。KLA Archer AIM利用这一光束剖面特征，能够准确、快速地诊断迭加精度问题以及扩散光刻问题。TENCOR Archer AIM还有一个粒子计量学单元，使用快速扫描的相机，加上多种影像感应器，快速准确地确定掩模和/或晶圆表面上粒子的大小和形状。通过一步步结合对不同类型缺陷的多次检查，有助于减少检查周期时间和总拥有成本。Archer AIM配备了集成的数据可视化机器,允许用户查看和评估缺陷性能和控制趋势,以及分析过程漂移,以帮助推动产量提高。该工具旨在帮助设备制造商实现收缩、提高设备性能和启用新流程节点的目标。综上所述，KLA/TENCOR Archer AIM是一种先进的掩模和晶圆检测资产，提供精确详细的缺陷检测、粒子表征和精确的晶圆级图像分析。KLA Archer AIM通过启用编辑和缺陷映射、光束剖析和粒子计量,是提高设备制造产量的强大工具,使其成为设备制造商的宝贵工具。