二手 KLA / TENCOR SP1 #9407601 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1
ID: 9407601
Inspection system Handler included.
KLA/TENCOR SP1是一种掩模和晶片检测设备,设计用于帮助检测半导体制造过程中光掩模和晶片上的缺陷。该系统利用传感器技术、成像系统和数据分析技术,获得晶圆或掩模表面上存在的各种结构以及晶圆原始特征的最精确、高分辨率图像。这些系统有各种配置,可提供各种成像能力和功能,例如:迭加测量;面罩对齐;CD-SEM;Critical Dimension scanning;微排泄率测绘;CD和迭加CD控制;掩蔽和OPC控制;扫描数据与CAD的比较;和缺陷检查。KLA SP1单元配备了四个不同的成像传感器:两个电子束探测器、一个扫描激光探测器和一个焦点束探测器。电子束探测器产生高精度图像,能够精确分析表面的微小特征和缺陷。扫描激光探测器产生较大结构的图像,有助于检测表面缺陷和检查晶片或掩模的一般状况。最后,聚焦光束检测成像的精细结构,具有所有成像传感器最高的精度聚焦能力。机器还配备了智能数据分析包,帮助操作员更好地诠释这些成像传感器产生的图像。这个高级分析包采用各种算法和技术来识别图像内的各种特征和变化,然后提供简化检查过程的输出。它在检测不同层次的细微变化和缺陷时特别有用,如表面地形和子单元特征。通过Advanced Process Control (APC)工具进一步增强了TENCOR SP 1工具生成的数据,这些工具可帮助操作员和工程师识别缺陷、预测问题并执行复杂的分析任务。这可以提高生产和检验产量,降低成本,优化半导体制造过程中的工作流程。SP 1资产被用于许多半导体器件生产线,并被证明是管理缺陷关键半导体制造过程的可靠而强大的工具。它是实现尽可能高的产量和最大限度地提高投资回报的宝贵工具。
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