二手 KLA / TENCOR Terascan SL 536 #9363034 待售

KLA/TENCOR Terascan SL 536是针对半导体制造行业的一系列应用而优化的最先进的掩模和晶圆检测设备。其专利阵列图像传感器和先进光学器件设计用于检测和分析各种掩模和晶片基板上的最小缺陷源，包括硅片、薄膜太阳能电池、光掩模和标线。高速、高分辨率的KLA Terascan SL 536提供了无与伦比的精度和可靠性级别,甚至检测到最复杂的缺陷站点。该系统能够使用高精度干涉测量、CCD和CMOS技术在整个晶片上同时测量高达512 μ m。其获得专利的1.5X图像放大倍率和先进的照明装置确保TENCOR Terascan SL 536为最高的SNR和最详细的成像提供分布式照明。Terascan SL 536还具有自动粗糙对齐和扫描站,可高效处理各种晶圆类型和形状。其晶片级定位和对准数据使其能够错误映射晶片表面以确定检测到的缺陷的确切位置。它配备了高级模式识别功能,可自动识别已知的掩码以进行全自动缺陷检测。其先进的软硬件工具采用高速数据处理算法，快速准确地检测错位、波纹、凹坑、亮点、空隙等各种缺陷。KLA/TENCOR Terascan SL 536用户友好的GUI简化了操作过程,因此用户可以快速获取所需信息。符合人体工程学、高分辨率的触摸屏界面允许用户轻松交互,并且机器能够安全传输数据,以便在工厂和设施之间快速共享信息。KLA Terascan SL 536效率高，在数分钟内分析口罩和晶片。它提供了最佳的图像质量,确保提高了生产效率,提高了缺陷检测,并提高了批量生产的产量。