二手 LEITZ Ergolux #61327 待售

LEITZ Ergolux Mask and Wafer Inspection Equipment是一个专门的系统，用于检查和分析半导体mask和wafer的表面。它结合了先进的模式匹配算法和尖端光学技术，提供自动化的质量控制和过程优化，同时提供全面的缺陷检测和分析。Ergolux Mask and Wafer Inspection Unit由三个部分组成；运动控制单元、图像检测器和视觉机器。运动控制单元能够在检测过程中精确控制元件的运动。它还可以检测多个视图字段,从而可以完全覆盖曲面。图像检测器使用一维检测器阵列同时捕获多达5个斑点的高分辨率图像。这样就可以检查复杂的图样并评估整个晶片表面存在的缺陷。该探测器还能够测量表面特征如晶粒结构、各向同性蚀刻和表面形态。视觉工具是一种先进的光学资产，利用4倍暗场光学器件穿透晶圆表面，检测潜在缺陷。它包含大量用于缺陷识别和大小确定的准确参考数据。然后将这些数据与图像检测器的输出结合起来，编译晶圆特性的综合记录。LEITZ Ergolux Mask and Wafer Inspection Model是一种功能强大且可靠的自动检查和过程优化工具。其先进的光学技术和创新的图像处理算法使得晶圆缺陷的准确识别和表征成为可能。通过以无与伦比的精度查明缺陷,确保产品在发布前的完整性和可靠性。这样可以确保最终产品质量最高,满足所有行业要求。