二手 METRICON PC 2010 #9084282 待售

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METRICON PC 2010
已售出
製造商
METRICON
模型
PC 2010
ID: 9084282
Prism Coupler Dual Laser Film Measurement System Updated software Dual Wavelength: 633nm and 1551nm Unparalleled accuracy in measurement of thin film thickness and refractive index Bulk refractive index and thin film/bulk birefringence Includes PC and new software.
METRICON PC 2010是一种用于光刻掩蔽和晶圆制造的掩模和晶圆检验设备。该系统根据光掩模和晶片的反射率剖面(光反射率400-750 nm)检查其质量,并为每个样品提供具有代表性的反射率剖面报告。该装置旨在检测光掩模中的材料缺陷,并就各种尺寸的晶片制作检验报告。它具有先进的光学阅读机和定制的100倍降序和成像平台,可以使用基于Tri Stack的照明检查高达200 mm的模具。该工具由晶片级、光头和运行METRICON Image Analysis Software软件包的计算机资产组成。光头包含一个背光扫描仪,由100倍物镜和包括绿色、红色和红外LED在内的多个光源组成。物镜安装在Y台上,具有XY平移阶段和X轴旋转阶段。这允许在样品上扫描光源,而样品固定在晶片级。晶片级由两个可调节的倾斜和旋转级组成,一个固定卡盘和一个真空拾取架。晶片级还具有机械和电磁级校准模型。METRICON图像分析软件是一个功能强大的图像分析和比较软件包。它具有自动全局绘图技术,为每个样品提供一个单独的反射轮廓,使其能够准确比较样品的明暗水平。软件还包括缺陷映射应用程序,允许用户在可见和不可见范围内映射样本的特征。软件还可以自动测量整个表面的晶圆厚度,并辨别空间误差和基于时间的误差。总体而言,METRICON PC 2010Mask&Wafer Inspection Equipment是一个先进的系统,允许用户快速准确地检查掩模质量并生成晶圆检验报告。由于它的扫描和成像能力,它提供了对样品的明暗区域的精确测量。此外,内置的图像分析软件使得比较多个样本和绘制出表面缺陷变得容易。因此,该单元是光刻工业质量保证和生产过程的宝贵工具。
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