二手 NANOMETRICS NanoSpec M-210 #121797 待售

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ID: 121797
晶圆大小: 8"
优质的: 1993
Metrology inspection system Program software: DOS 6.20 (Japanes version) Software version: 2.30*1 Available wafer site: 8" Fouse control: Auto focus Light Source 400 to 800mw halogen lamp Used voltage/watt: 6V 15W Monitor/key board : CRT Spectrophotometer Head Photointensity meter reads: Zero intensity: 0.8, high intensity: 66 Gain 8 Zero control Wavelength counter control User interface RS232C Utility Power: AFT Controller 1COW Motor Driver controller 1COW Computer 1COW Printor 1COW 1993 vintage.
NANOMETRICS NanoSpec M-210是为半导体元件的自动化过程控制和评估而设计的高精度掩模和晶圆检测设备。该系统配备了明场光学显微镜和广泛的照明源、探测器和光电倍增管阵列。它可用于测量各种成像特性,包括晶圆表面地形和临界尺寸、接头深度、缺陷和污染。该单元由两个阶段组成:掩模阶段和晶圆阶段。在掩模阶段,机器对掩模进行暗场照明,以实现线条和空间之间的对比,并精确测量临界尺寸。该工具还执行白光横截面显微镜,精确检测包括线宽粗糙度、形状和形状细节等缺陷,以及颗粒沉积和晶圆经纱等其他缺陷。在晶片阶段,该资产以较高的分辨率进行亮场显微镜分析晶片轮廓,精确测量到纳米尺度的临界尺寸。NanoSpec M-210具有几个便于操作的功能,包括用于聚焦控制高分辨率成像的可变形镜像、用于精确对齐的双压电驱动级以及用于缺陷自动分类的自动特征识别。此外,该模型还提供了广泛的自动化计量功能,如配置文件、边缘检测和2D/3D可视化。此外,该设备还提供一系列先进的数据分析技术,以进行地形测量、缺陷密度和均匀性检查,以及查明趋势和验证工艺结果。NANOMETRICS NanoSpec M-210是一种可靠、健壮且经济实惠的光学和电子元件组合,能够以紧凑的外形尺寸实现高度精确和可重复的结果。它非常适合用于半导体行业,在半导体行业中,过程需要对设备的不同层和组件进行关键的一致分析。该系统能够以高精度和精确度测量非常小的细节,不需要人工检查。
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