二手 RUDOLPH / AUGUST NSX 105 #9230601 待售

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RUDOLPH / AUGUST NSX 105
已售出
ID: 9230601
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 2004
Automatic Vision Inspection (AVI) system, 6"-8" 2004 vintage.
RUDOLPH/AUGUST NSX 105掩模和晶片检验设备是一种综合性晶圆和掩模检验系统,用于半导体制造行业。该单元是一台集成的机器,由一个充电站、直接照明(DI)照明器、照相机、计算机、图像处理软件和包括SDE显微镜、样品级和过滤工具在内的外围设备组成。资产的光电子系统由偏振器-分析器成像站(PAIS)、DI照明器、照相机和SDE显微镜组成。照明器的波长范围从400到1050 nm,具有自适应功率控制和可调光强度等多种特性,以确保高灵敏度和最佳性能。相机是一种高分辨率CCD相机,以每秒600个图像帧来捕捉样本的图像。SDE显微镜(扫描衍射元件)提供高达0.25 μ m的光学分辨率和样品片的高放大图像。该模型具有高度先进的图像捕获和分析软件套件。它包括自动和半自动缺陷检测、分析和分类,以及晶圆/掩模检查和分析的综合模块。该软件还允许进行各种操作,如平面或3D图像中的掩码检查、表面检查和计量、光掩码验证、3D检查和缺陷检测。AUGUST NSX-105面膜晶片检测设备的外围设备设计精度高.采样台设计用于精确定位,具有可调节的参数,用于精确定位,达到更高的精度。过滤系统通过清除环境中的小颗粒,确保了清洁、精确的检测环境。该单元设计可靠、精确,精度规格高达0.25 μ m,最大信噪比为1000:1。还配备了预测性维护、人性化触摸屏、报警和温度控制,确保最高性能和最佳运行温度。RUDOLPH NSX 105 Mask&Wafer Inspection Machine是一款用于mask和晶圆检验分析的多功能解决方桉,在半导体制造行业提供精确可靠的性能。该工具适用于高端、高精度的加工,可用于有效检测、分类和分析掩模、半导体器件等相关材料中的缺陷。
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