二手 AIXTRON AIX 2400 G3 HT #9352602 待售

AIXTRON AIX 2400 G3 HT（Highly Tempered）是一种高性能的多用途反应器，设计用于半导体工业中的柔性薄膜沉积和先进的校准过程。它具有高度坚固的设计，具有宽敞的八室配置和优化的腔室阀。AIXTRON AIX 2400 G3/HT反应堆的主要部件包括工艺室、气体入口、气体出口、沉积板、工艺界面和RFG基板支架。每个腔室设计有一个个性化的锁存设备，提供一个安全和可重复的连接点，并允许用户快速装卸基板。加工室由板载热区系统加热，通过PID控制器控制。AIX 2400 G3 HT反应堆气体入口采用快速连接设计，每种气体都有个性化的球阀。所有嵌入式部件都用不锈钢文丘里喷嘴连接，以保持工艺清洁高效。该反应堆还具有全面的可编程自动清洁功能，以便在改变配方或校准时对工艺室进行可靠清洁。腔室沉积板提供了大量载体，便于薄膜在基板上高效沉积。RFG基板支架是为提高加热均匀性而设计的，适用于精确生长。此外，反应堆还包括一个自动化工艺接口和一个输出功率为1 MHz-13.56 MHz的强大射频发生器。AIX 2400 G3/HT反应堆配备了安全功能来保护机组，包括一台超温监测机和一个立即停止进程的紧急停止按钮。它还具有高速、高度敏感的软件，能够实时监控和调整参数。总体而言，AIXTRON AIX 2400 G3 HT是一种多功能反应堆，旨在满足半导体行业的需求。该反应堆具有创新的设计、坚固的结构和全面的安全特性，是高可靠性、高性能沉积作业的理想选择。