二手 RIBER 32 #9285342 待售

分子束外延（MBE）是一种用于在基板上生长半导体和其他材料的技术。RIBER 32，由RIBER SA生产，是为先进复合半导体器件制造而设计的高性能MBE设备。它配备了两个UHV（Ultra High Vacuum）模块，每个模块包含一个晶圆处理系统和两个源船。这使得它适用于广泛的材料和基材。32为其沉积和蒸发室提供模块化设计。每个模块都可以根据材料沉积过程进行定制。有各种各样的工艺控制选项，包括气体供应、压力和温度控制。该机组还配备了快速冷却烤箱，能够在沉积后将基板快速冷却到室温以下，在材料生长过程中提供卓越的质量控制。由于两艘源船允许同时蒸发，沉积率高，减少了与装置制造有关的时间和成本。此外，该机器还具有先进的能量响应能力，可以在沉积前精确控制入射能量。两个特高压模块连接到一个综合分析单元（IAU），允许对生长过程进行原位分析。IAU包括多种成分，如原位反射率-吸收-光谱仪（RAS）、椭圆偏振仪和四极质谱仪。这些组件可用于实时监测材料的生长并优化材料性能。总体而言,RIBER 32提供了高级设备制造所需的高性能沉积功能和用户友好界面。该工具具有多源船设计、快速冷却炉和现场分析功能，是制造复合半导体器件的理想选择。