二手 RIBER CBE-32 #9212374 待售

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製造商
RIBER
模型
CBE-32
ID: 9212374
Electron beam evaporator.
RIBER CBE-32是一种分子束外延(MBE)设备,旨在提供晶体结构的亚微米级分辨率。这项技术已被用于广泛的研究,包括半导体和纳米材料。这个MBE系统由一个40度的终极真空室、一个高精度的沉积室和一个详细的控制单元组成。适用于III-V半导体、II-VI复合层等材料的生长。终极真空室设计的氢气泄漏速率为1x10-9毫巴/秒,底压为1x10-9毫巴。它配备了一系列优化样品处理的功能,如超高真空门阀、倾斜样板级、快门、机械手、石英晶体监控器(QCM)和微型电子回旋共振(ECR)源。这个腔室还包含两个24 x 30英寸的多口袋源积液细胞,允许同时连续暴露多达五个源。沉积室具有三轴线性传递机和闭环运动控制软件。该腔室的设计使氧化率保持在0.3%以下,并提供可重复、精确的运动控制,使逐步制造具有较高的位置精度。最后,MBE工具包含了详细的控制资产,允许为每个单独的沉积过程定制各种参数。控制模型具有图形功能和用户配置文件,在沉积过程中易于跟踪和修改参数。总体而言,CBE-32分子束外延设备提供了一个理想的平台,以沉积高质量的纳米尺度特征。参数的定制和运动控制系统的准确性使得材料沉积水平达到前所未有的水平,使其成为研究的宝贵工具。
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