二手 VARIAN / VEECO GEN II #9222084 待售
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ID: 9222084
晶圆大小: 3"
Molecular beam epitaxy system, 3"
Type:
Cell in: 60cc
Dual filament ga cell: 125cc
Cell cable 2-pol, TC
(2) Cryo motor cables
(4) Water pipes
Pistols:
N2
Cracker (With motor)
(2) Trolleys, WH (5"x 3'' 2x 2'')
(2) End piece manipulators
Buffer chamber extension
Materials used: As, Ga, In, Al, Si, Be
Connector vacuums:
LN2
Cables joint
Shutters tangen
Cage distance pieces
Power cable
Doping cell (Si)
Ga cell sumo
Pyrometer
Control unit
Power cable
Doping cell (Neu)
Si-cell heat filament defect
Head mass spectrometers:
Lead through defective
Al-cell thermocouple defective
(2) Windows (Heated)
Control-PC
Cage
Ratchet
Dual filament cell
400g Sumo cell
Dual filament cell
Dopant cell
Mass spectrometer
Control-PC
Cage distance pieces
(4) He-tubes
Power cable
LN2 Phase separator.
VARIAN/VEECO GEN II分子束外延设备是一种先进的工具，设计用于制造复杂的纳米结构，如量子点。这种沉积系统利用低能电子束在目标基板上形成稳定的原子层。光束能量由内置离子源预选，该离子源被磁屏蔽，以确保光束的精确控制和可重复性。产生的光束可以从一个eV的一小部分变化到几个eV，使得这个单元好于沉积一系列材料。VEECO GEN II独一无二的源机允许特殊的动态沉积效应，如脉冲和恒定束通量的组合，基板加热或冷却速率，或动态沉积速率和压力变化。此外，室内质谱仪与实时光谱反馈相结合，可以精确控制目标层的材料组成。VARIAN GEN II还具有一个三轴计算机控制的运动组件，它提供亚微米精度来定位样品相对于沉积源的位置。通过控制样品运动和沉积速率，用户可以在纳米尺度上产生具有尖锐剃须刀状特征的结构。该工具复杂的计算机界面和软件自动化提供了对复杂生产制度的访问。这种对沉积速率、通量、电流和基板温度的自动控制使得可达到小于纳米厚度的均匀层的沉积成为可能。此外,GEN II还包含多种安全功能,如气体安全切断阀、压力监视器和真空警报。该资产还配备了真空互锁模型和显示实时流程数据的液晶面板。最后，VARIAN/VEECO GEN II分子束外延是一种先进的沉积设备，可以精确控制用于生产复杂纳米结构的各种参数。该系统提供了一系列独特的功能,使其能够以超微观精度生成极其精确的层。
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