二手 VEECO GEN III-V #9257986 待售

VEECO GEN III-V
製造商
VEECO
模型
GEN III-V
ID: 9257986
Systems.
VEECO GEN III-V分子束外延设备是生长纳米级复合半导体材料的一种独一无二的研究工具。它提供世界级的研究能力和性能,使当今最先进和创新的设备和材料得以制造。该系统包含一个超高真空(UHV)沉积单元,提供从III-V基板(如GaAs和GaP)生长外延层所需的条件。其强大的一套特性包括多重敏感器传输和处理;为提高样品均匀性和吞吐量,每台机器有1至4个源crucible;以及一个超高压腔室,该腔室有一个抽水、无开槽的源和用于扩大研究应用的双独立积液池。而且,它包含了几种先进的源配置,如长寿命蒸发源更长的运行时间;III类物种沉积率较高的阻滞剂;用于精确控制沉积速率的源百叶窗;以及气体侵入源。它的高分辨率和快速反应质谱仪提供了对腔室气体成分的跟踪测量,以确保对薄膜生长参数的完全控制。该工具与UHV兼容的机械部件,如高热梯度激光加热系统,加上其对磁感器的精确机械控制,使得科学和工程级材料能够在同一资产中制造。GEN III-V提供了广泛的可用附加选项和功能,极大地扩展了其功能。定制的原位通量模块可提供自上而下的晶圆通量控制,精度降至个位数,而"原位"QCM可提供实时沉积速率测量。此外,集成的选项(如远程样品加热/冷却系统、样品支架升降机和增量基板旋转)可实现超均匀性的超薄层。此外,它的高级硬件选项,如具有原位样品存储和检索功能的自动化样品传输、自动基板加载/卸载以及自动配方选择,使模型能够在没有操作员的情况下长时间工作。VEECO GEN III-V使分子束外延的每一个方面都能达到,将世界级的性能与无与伦比的灵活性相结合,创造出未来几年用于研究和商业目的的最佳外延材料增长。
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