二手 AIWA AU-501CO #9261216 待售

AIWA AU-501CO是为满足先进半导体器件制造要求而设计的多功能、高性能晶圆加工设备。利用独特的模块化设计，AU-501CO能够执行各种过程，包括蚀刻、溅射、沉积、氧化、光刻和光刻剥离。该系统还可用于其他一系列辅助过程，如邻近效应校正（PEC）、边缘隔离（EI）、粒子干扰遏制（PIC）和扩散预防（DP）。AIWA AU-501CO采用高精度核心引擎,可处理各种晶圆尺寸,最小晶圆尺寸为4英寸。高精度核心引擎允许晶片到晶片的精确移动,可重复性± 2 um,旋转精度± 1°。该单元还提供了一系列全面的可编程过程参数，使机器能够全自动运行。AU-501CO具有一套高级控制系统,可提供对流程的高级控制和监控。它的核心是自动化过程控制和监视工具（APCMS）,它提供了许多功能,包括晶圆负载诊断、过程序列设置、警报和监视以及故障检测和隔离。该资产还具有强大的数据采集和过程分析模型,可存储高达4GB的设备数据。AIWA AU-501CO提供了一系列用户友好的功能,包括图形用户界面,允许对流程序列数据进行直观确认。该设备还包括自动停止错误功能,可在流程失败时快速恢复。此外,还提供了"配方替代警报"功能,允许用户轻松替换组件,而无需重置整个系统。总体而言，AU-501CO是一个先进可靠的半导体器件处理单元，能够满足先进半导体器件制造最苛刻的要求。这台机器采用模块化设计，可以进行高效和精确的过程控制和监控，而各种用户友好的功能使得该工具即使对于非专业用户也易于使用。