二手 VIRTIS Virsonic 50 #9374832 待售

VIRTIS Virsonic 50是为半导体行业的高通量应用而设计的先进晶圆处理设备。它具有模块化的系统设计，可以处理200毫米至300毫米不等的晶圆尺寸。它具有许多特点，使其适合多种工艺，如过度蚀刻、图样制作和化学机械平面化（CMP）。Virsonic 50的高吞吐量,加上它的过程灵活性,使得它在需要高度精确度和可重复性的过程中特别有用。该单元包括一个全自动的装卸站，即使在使用多个晶片时也允许不间断的处理。晶片卡带和基于龙门的装卸系统确保晶片始终小心处理。VIRTIS Virsonic 50机器包含四个工艺/蚀刻室，每个室都有自己的可编程工艺参数。每个腔室都有一个特定的功能，从等离子体蚀刻到湿蚀刻，可以编程为在任意组合中执行多个参数。该工具还包括一个中央流程控制器，允许用户使用图形用户界面轻松、高效地监控和调整流程参数。资产还包括一个全自动晶圆探测站，使用户能够自动检测边缘问题、过程缺陷和肉眼不易看到的其他晶圆问题。这样可以确保晶片以最佳的精度得到一致的处理。该模型还具有可选的氮化物技术，可用于增加选择性蚀刻时间以及增强蚀刻工艺的均匀性。Virsonic 50专为实现最大的灵活性和生产力而设计。它可靠耐用,并且需要最低限度的维护才能使其保持最佳运行水平。它的模块化设计提供了一定程度的可扩展性，使其适合各种晶圆处理应用。它与机器人晶片处理的集成使得它成为高吞吐量应用的绝佳选择,确保每一个晶片都能在最小的人工干预下按照精确的规格进行处理。