二手 KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9295095 待售

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ID: 9295095
优质的: 1997
System Argon ion laser, 30 mW (Max power of 0.5 W) Power supply: 200-240 V, 2 kVA, 208 VAC, 3-wire, Single Phase, 50/60 Hz 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备,旨在提供晶圆表面和中级特征的精确测量。该系统提供多种功能和规格,以帮助确保实验室使用和大批量生产的准确性和效率。Surfscan 6420单元配备了利用缝合创造晶圆完整图像的亮场显微镜,提供了更全面的表面视图。显微镜捕获的图像分辨率高达1,000,000像素,景深高达1200 µm。它是一台先进的成像机器,具有聚焦离子束成像(FIB)的高级光学分析,能够快速准确地进行测量。该工具还能够通过用于图像分析和缺陷检查的软件套件进行数据分析和缺陷审查。使用该软件,用户可以访问多个数据文件并执行包括自动分类、报告生成和缺陷特征统计报告在内的分析。Surfscan资产还包括一个3 D表面计量模块,可提供纳米表面地形特征的高精度测量。它利用激光干涉测量来精确测量各种基板上的表面高度。该模型还能够测量迭加、临界尺寸(CD)、晶圆平面度和轮廓高度图。此外,该设备还包括交互式用户界面、地图显示、自动提交作业、数据比较、超出规格检测和基于算法的缺陷分类器等全套硬件和软件功能,以提高准确性。这些功能为半导体和电子行业的客户提供了高效、准确的生产线分析。KLA 6420 Surfscan提供了多种功能、可靠的准确性和直观的用户界面,可帮助实验室和生产线进行深度晶圆表面分析。Surfscan具有先进的成像系统、可靠的计量功能和全面的软件功能,是晶圆测试和计量的可靠而有力的选择。
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